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| 機構·方式 | 多孔質(zhì)靜壓空氣軸承·工作臺回轉式 |
|---|---|
| 回轉精度 | 0.05μm (JISB 7451) |
| 最大測定徑 | 內(nèi)外徑都是?550mm(※EC5100H的機種) |
| 積載質(zhì)量 | 200kg (※EC5100H的機種) |
| 上下移動量 | 1000mm(使用b觸針臂時)(※EC5100H的機種) |
| 工作臺移動范圍 | X:800mm(左500mm, 右300mm) Y:士60mm |

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