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- 紫外分光光度計
- SolidSpec-3700/3700DUV 產品介紹
- 是一款頂級的高靈敏度分光光度計，可進行深紫外區檢測，具備大樣品室，可滿足光學、半導體及FPD在以下方面的檢測需求。
FPD：
材料評估中NIR和大樣品的高靈敏度測定。
半導體：
短波長激光和12英寸晶片整體表面的深紫外區測定。
光通信：
減反射膜NIR高靈敏度測定。
光學：
從DUV到NIR再到大樣品的高靈敏度分析。
高靈敏度
SolidSpec-3700和3700DUV是第一臺使用3個檢測器的分光光度計：光電倍增管（PMT）探測器檢測紫外區和可見光區，近紅外區使用InGaAs 和 PbS檢測器。InGaAs 和 PbS檢測器的使用使得近紅外區域的靈敏度顯著增強。
深紫外區檢測
SolidSpec-3700DUV具有檢測深紫外區的能力，可測定至165nm或175nm的積分球。此檢測是用氮氣吹掃光室和樣品室進行的。注： 165nm是SolidSpec-3700DUV使用直接受光單元DDU-DUV測定）的最短波長。
大樣品室
大樣品室（900W x 700D x 350H mm) 可在不損傷大樣品的前提下進行檢測。其垂直光路可直接測量大樣品同時保持它們的水平狀態。使用自動X-Y樣品臺（選配）測定樣品的尺寸是12英寸或310×310mm。
Direct Detection Unit DDU/DDU-DUV (for liquid/solid transmission measurements)直接受光單元DDU/DDU-DUV對于液、固樣品透過率測定
自動X-Y樣品臺（自動測量）
大型鏡面反射附件
氮氣流量裝置
絕對鏡面反射附件(5°12°30°45°)
積分球刪除樣品盤
SolidSpec-3700/3700DUV的UVProbe軟件包括光譜模塊，光度模塊，動力學及報告模塊等功能。多重的安全性及可追蹤性以確保刪除數據的可靠性。
