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工作臺

金屬臺面尺寸(mm)

760×640

800×550

800×800

750×1000

1140×1360

1340×1660

玻璃臺面尺寸(mm)

550×350

650×450

650×650

650×850

1050×1250

1250×1550

運動行程(mm)

500×300

600×400

600×600

600×800

1000×1200

1200×1500

Z軸升降行程

200mm

工作距離

92mm

X、Y、Z數顯解析度

1μm

X、Y坐標示值誤差

≤(3+L/200)μm

影像系統

攝影機：日本原裝彩色1/2″CCD攝像機

變焦物鏡倍率：（美國：NAVITAR）0.7~4.5X 或自動變焦鏡頭

視頻總倍率：30X~190X

物方視場：10.6~1.6mm 表面光源與透射光源均用LED，48組可編程。

測量系統

Mclns全自動測量軟件