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工
作
臺

金屬臺面尺寸(mm)

506×356

606×466

700×450

玻璃臺面尺寸(mm)

350×280

450×350

550×350

運動行程(mm)

300×200

400×300

500×300

儀器重量(kg)

140

240

290

外形尺寸(mm)

770×590×1100

950×700×1100

970×670×940

鏡頭

日本SONY CCD

X、Y、Z數顯解析度

1μm

X、Y坐標示值誤差

≤(3+L/200)μm

鏡頭

日本SONY CCD

電機

伺服電機：日本

三軸運動速度：100mm/s

三軸定位精度：0.001mm

電源

AC110V/220V

消耗功率

<100W（不包括電腦）